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原子熒光光譜儀(Atomic fluorescence spectrometer)是一種通過(guò)測(cè)量待測(cè)元素的原子蒸氣在輻射能激發(fā)下產(chǎn)生的熒光發(fā)射強(qiáng)度以確定待測(cè)元素含量的儀器。
該儀器的分析方法如下：物質(zhì)吸收電磁輻射后受到激發(fā)，受激原子或分子以輻射去活化，再發(fā)射波長(zhǎng)與激發(fā)輻射波長(zhǎng)相同或不同的輻射，當(dāng)激發(fā)光源停止輻照試樣之后，再發(fā)射過(guò)程立即停止，這種再發(fā)射的光稱為熒光；若激發(fā)光源停止輻照試樣之后，再發(fā)射過(guò)程還延續(xù)一段時(shí)間，這種再發(fā)射的光稱為磷光，而熒光和磷光都是光致發(fā)光。

原子熒光光譜分析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進(jìn)行多元素同時(shí)測(cè)定。這些優(yōu)點(diǎn)使得它在冶金、地質(zhì)、石油、農(nóng)業(yè)、生物醫(yī)學(xué)、地球化學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域內(nèi)獲得了相當(dāng)廣泛的應(yīng)用。

原子熒光光譜法的優(yōu)點(diǎn)：
（1）有較低的檢出限，靈敏度高。特別對(duì)Cd、Zn等元素有相當(dāng)?shù)偷臋z出限，Cd可達(dá)0．001ng/cm、Zn為0.04ng/cm現(xiàn)已有2O多種元素低于原子吸收光譜法的檢出限。由于原子熒光的輻射強(qiáng)度與激發(fā)光源成比例，采用新的高強(qiáng)度光源可進(jìn)一步降低其檢出限。
（2）干擾較少，譜線比較簡(jiǎn)單，采用一些裝置，可以制成非色散原子熒光分析儀。這種儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)格便宜。
（3）分析校準(zhǔn)曲線線性范圍寬，可達(dá)3～5個(gè)數(shù)量級(jí)。
（4）由于原子熒光是向空間各個(gè)方向發(fā)射的，比較容易制作多道儀器，因而能實(shí)現(xiàn)多元素同時(shí)測(cè)定。

目前，國(guó)產(chǎn)原子熒光譜儀占據(jù)國(guó)內(nèi)近90% 的市場(chǎng)，是國(guó)產(chǎn)分析儀器的驕傲。在儀器研發(fā)方面，我國(guó)科學(xué)工作者取得了許多具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成就，眾多儀器制造商及個(gè)人發(fā)明了多項(xiàng)創(chuàng)新專利和研究成果。